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スパッタリングターゲットの接合
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モリブデンターゲット結合
幅広のモリブデンターゲットは、大型で重量が重いという特徴があり、接合工程に技術的な問題がある
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ITOターゲットボンディング
ITOツーピーススプライシング製品は、2つのターゲットをスプライシングして接合したものです。 ターゲットサイズが大きく、重量が重いという特徴があり、ボンディングプロセスの難しさ、ターゲットの割れ、製品の頻繁な変形、平坦度制御の困難など、ボンディングプロセスにはいくつかの重要な技術的困難があります。
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